前段制程设备--蚀刻

应用特点：

符合SEMI F47标准

高寿命及高可靠度

高功率密度及高效率

可配置输出电压

建议电源型号：

MEG

MEG-2K1A6T

MEB

MEB-1K5A24T

DRU（DC UPS）

DRU-24V20AMN

PMR

PMR-24V1K5W 

DRN电池盒(不含电池)

DRU-24V20AMN